XENOS 應(yīng)用案例
        
					
        
					
        
						
        
							
        
								
							
        
							
        
								
        XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一高端測量機的測量精度達到技術(shù)極限，其測量范圍近1立方米。
        
								
								
        
								   
        可選探頭:
        
								   
         
								                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    ZEISS VAST gold                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    								   
        
								
        
								
								
        
								    
        可選軟件:
        
								    
         
                                                                                                                 ZEISS CALYPSO                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        GEAR PRO                                                                         								    
        
								
        
								
							
        
						
        
					
        
				
        
			
        
			
			
			
			
        
				
        
					
        
						
        產(chǎn)品詳情
        
						
					
        
					
        
                    
        
	創(chuàng)新的機械設(shè)計

        

        XENOS采用了全新的機械設(shè)計理念。與標準橋式測量機不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的完美統(tǒng)一。
        

        所有軸均采用線性驅(qū)動
        

        XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的極高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實現(xiàn)越出色的精準性。
        

        虛擬中央驅(qū)動
        

        XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的中央驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置完美分布驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及算法之完美結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
        

        碳化硅陶瓷
        

        XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
        

        加強型VAST gold
        

        XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中，蔡司在測量精度和測量重復(fù)度方面對該探頭進行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。
        

        優(yōu)化的氣浮軸承
        

        全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。
        

        改進的電子設(shè)計
        

        通過全新的電子設(shè)計，移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
        										
        
				
        
			
        
			
        
				
        
					
        
						
        測量范圍
        
						
					
        
					
        
                    
        
	
        
		
        
			長度測量誤差E0
		
        
	
        

        

        
	
        
		
        
			
        
				
        
					0.3 + L/1,000 μm
				
        
			
        
		
        
	
        

        

        
	
        
		測量范圍
	
        

        

        
	
        
		
        
			
				
        
					
					
					
						X
					
					
						Y
        
					        		
					
						Z
					
				
        
				
        
					
						9/15/7
					
					
						900
					
					
						1,500
					
					
						700